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非平行光的曝光作業(yè)中(以“點(diǎn)”為光源的曝光機(jī)),吸真空度的大小程度是影響曝光品質(zhì)的重大因素,空氣也是一種介質(zhì)層,在曝光時如果在板、菲林、抽氣膜之間存在有空氣,那么就會產(chǎn)生光的折射,影響曝光的效果,吸真空不但是為了防止光的折射,同時也是為了不讓菲林與板面的間隙會擴(kuò)大,保證對位/曝光的質(zhì)量。
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