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1.干膜感光速度是多少?
干膜的感光速度是指光致抗蝕劑受到紫外光照射時的光能量,與聚合單體發(fā)生聚合反應(yīng)形成具有一定耐腐蝕性的聚合物所。在光源強度和光距固定的情況下,感光速度以曝光時間的長短為特征,曝光時間短意味著感光速度快。
2.干膜曝光的時間公差是多少?
經(jīng)過一段時間的干膜曝光后,所有或大部分光刻膠層已經(jīng)顯影聚合。一般來說,可以使用形成的圖案,這個時間稱為最小曝光時間。繼續(xù)延長曝光時間,使光刻膠聚合得到徹底的處理,顯影后得到的圖案尺寸仍與膠片底片尺寸一致,稱為最大曝光時間。通常干膜的最佳曝光時間在最小曝光時間和最大曝光時間之間。最大曝光時間與最小曝光時間之比稱為曝光時間容差。
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